常州大学王诤微电子学院磁控溅射维修保养及改造

项目询价公告

一、项目基本情况

1、项目名称：磁控溅射维修保养及改造项目

2、项目编号：常大询[2026]049号

3、项目地点：常州大学西太湖校区立功楼

4、项目概况：本项目拟对现有磁控溅射设备进行维护保养及功能升级，主要包括气路、真空系统、磁控靶位、电气线路及循环水系统的检修与更新，并预留射频电源接口。项目完成后，应保证设备稳定运行，满足日常薄膜沉积实验需求。

5、项目工期：合同签订后30个工作日。

二、本项目最高限价：95000元（投标供应商报价不得高于最高限价，否则作无效响应处理）。

三、投标人资格要求

（一）一般资格条件：

1、具有独立承担民事责任的能力；

2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；

4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；

5、参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；

6、法律、行政法规规定的其他条件；

7、未被“信用中国”网站（www..creditchina.gov.cn）或“中国政府采购网”网站（www.ccgp.gov.cn）列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重失信行为记录名单；

8、单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商（包含法定代表人为同一个人的两个及两个以上法人，母公司、全资子公司及其控股公司），不得参加同一合同项下的采购活动；

9、本次投标不接受联合体投标，中标后不容许分包、转包。

四、采购项目内容及要求

(一) 采购项目内容

内容包含：

1、设备工作气体整体更换为金属连接。并具有Ar, O₂与N₂三路进气口与流量调节；

2、压力检测更换，包括电阻规与电离规等，并具有数显功能。

3、分子泵保养一次，包括油料更换，滤网更换，冷却系统、波纹管更换等。

4、机械泵保养一次，包括油料更换，返油截止阀更换，波纹管更换等。

5、更换3套平面磁控溅射靶位，其中包含一套强磁靶位，用于Fe, Ni与 Co等磁性金属的制备，靶位需配置好冷却系统。

6、设备电气电路换新，循环水系统更新，水管更换。

7、预留射频源摆放位置、接口，电源配置等，分别为RSG500与RSG1000。

8、设备整体检测及调试

9、保留原有设备的所有功能。

（二）主要材料品牌推荐表：

备注：如项目中主要设备或材料有具体要求的，供应商可以选择推荐品牌，也可以选择性能不低于推荐品牌性能的其他品牌。供应商欲在采购人提供的推荐品牌范围之外选择其它品牌的，则该品牌产品需满足采购人要求，且须在响应文件中提供能证明选择品牌与推荐品牌同等档次的材料，由询价小组确认。

（三）服务要求

1、服务目标：实现设备的整体稳定运行功能，为设备进行一次大型保养，满足设备正常稳定的实验和镀膜要求。

2、售后服务目标：设备交付后，为设备更换部件提供1年免费质保期服务。服务方需成立专门的维护保养小组，建立设备维护保养台账，记录每一台设备仪器的维保情况，安排专人对接采购人方技术人员，保障7×24小时专人接受信息，特设定以下几个售后服务目标，免费质保期内，供货方对设备的主要部件及系统故障承担免费维修与更换责任，保障设备性能始终满足多功能薄膜制备的科研需求。

3、服务质量：及时响应采购人需求、专业解决采购人问题，为确保质保服务的及时性和有效性，服务方需指定专门的质保负责人，提供24小时联系电话，便于采购人在遇到设备问题时能够第一时间获得技术支持和现场服务。质保期间内，所有维修和更换的零部件均为原厂正品，确保设备性能不受影响。

4、技术支持与培训：提供全面、系统的设备操作与维护培训，确保采购人操作人员能够熟练掌握设备操作技能，维护人员能够独立进行设备的日常维护和常见故障处理，提升采购人自主管理设备的能力。

5、操作培训：为操作人员提供全面的设备操作培训，包括理论知识讲解和实际操作指导。理论知识培训内容涵盖设备的工作原理、结构组成、性能参数、操作界面介绍、操作规程等，使操作人员深入了解设备的基本情况和操作要点。实际操作培训在设备现场进行，由培训讲师手把手指导操作人员进行设备的启动、停止、运行参数调整、功能切换、配件更换等操作，让操作人员在实践中熟练掌握设备操作技能，确保操作人员具备独立操作设备的能力。

6、维护培训：针对采购人维护人员开展设备维护培训，内容包括设备的日常维护、定期保养、故障诊断与维修等方面。日常维护培训重点讲解设备的清洁、润滑、紧固、调整、防腐等维护要点和操作方法，使维护人员掌握日常维护的基本技能，能够及时发现设备的潜在问题。定期保养培训详细介绍设备的定期保养计划、保养项目、保养周期和技术要求，让维护人员能够按照计划对设备进行全面、系统的保养，延长设备使用寿命。故障诊断与维修培训通过理论讲解、案例分析和实际操作演练，使维护人员掌握设备常见故障的诊断方法和维修技巧，能够在设备出现故障时迅速判断故障原因并进行修复。

7、配件供应：建立完善的配件库存管理系统，储备充足的常用配件和易损件，确保在采购人需要时能够及时供应。对于紧急需求的配件，通过快递、物流等方式在最短时间内送达采购人手中。同时，与优质的配件供应商建立长期合作关系，确保配件的质量和供应稳定性。在配件供应过程中，严格把控配件质量，为采购人提供原厂配件或质量等同于原厂配件的产品，保证设备的维修质量和运行性能。

8、售后服务团队人员组成及职责

售后服务经理：具有5年以上设备售后服务管理经验，负责售后服务团队的整体管理和协调工作。制定售后服务策略和工作计划，监督服务流程的执行情况，处理采购人的重大投诉和疑难问题，与采购人保持密切沟通，了解采购人需求，不断优化售后服务质量。

技术支持工程师：具备3年以上设备技术支持经验，负责为采购人提供技术咨询和远程指导服务。解答采购人在设备操作、维护、故障诊断等方面的问题，通过电话、邮件、视频等方式远程协助客户解决问题。在采购人需要现场技术支持时，及时赶赴现场提供技术服务，参与设备的安装调试、故障维修和定期维护工作，为售后服务团队提供技术支持和保障。

维修工程师：拥有3年以上设备维修经验，熟练掌握设备的机械结构、电气原理和维修技能。负责设备的现场故障维修工作，按照维修流程和标准，快速准确地诊断设备故障原因，并采取有效的维修措施进行修复。在维修过程中，严格遵守安全操作规程，确保维修工作的安全进行。维修完成后，对维修工作进行总结和记录，及时反馈维修过程中发现的问题，为设备的改进和优化提供建议。

9. 验收标准

设备各项动作整体运行正常；设备极限真空达到2.0*10^-4帕；设备能够实现多靶或单靶溅射镀膜，均匀性≤5％；1小时内设备真空度低于9*10^-4pa。

五、报价方式

1、本项目报价为全费用固定总价，应包括询价文件所确定的采购范围相应服务的提供、人员（包括工资和补贴）、办公场所及设施、保险、劳保、管理、各种税费、利润、税金、政策性文件规定及合同包含的所有风险、责任等各项应有费用，以及为完成该项服务项目所涉及到的一切相关费用，采购人不再支付其他任何费用。

2、报价货币为人民币，评审时以人民币为准。

六、付款方式

1、合同签订前，乙方以银行基本账户方式支付甲方履约保证金（成交合同金额的10%），履约保证金在设备验收合格之日起正常运行满一年后退还（无息）；

2、设备维修完成调试验收合格后，成交供应商开据合同总价100%的增值税专用发票给采购人，采购人凭发票支付相应款项。

七、评标

本次询价，采用最低价中标法。若最低价报价相同，则现场抽签确定成交供应商。

八、违约责任

1、维修改造质量不符合要求的，采购人有权要求其进行重新维修改造，并达到规定质量要求，费用自理，并有权扣罚维修改造款。

2、中标单位延期交货的，每延迟一日另按中标总额的千分之一罚款。

3、中标单位中标后不得将项目以任何形式转包或分包，一经发现将追究违约责任。

九、投标文件组成

*1、营业执照副本、组织机构代码证或加载统一社会信用代码的营业执照的复印件；

*2、投标人资格声明函（附件1）

*3、法定代表人资格证明书（附件2）；

*4、授权委托书（附件3，如有授权时必须提供）；

*5、报价一览表（附件4）；

*6、主要材料品牌承诺表（附件5）；

*7、技术（服务）要求响应及偏离表（附件6）；

*8、供应商管理关系或控股关系信息情况表（附件7）；

9、询价公告要求提供的其他材料。

上述带“*”条款供应商必须在响应文件中提供，否则将作为无效响应处理。供应商应提交响应文件“正本”壹份，并以密封形式（封口加盖骑缝公章）封装在一个文件袋中，文件袋上应注明项目名称、供应商名称、联系人及电话。

十、投标文件递交要求

1、投标文件递交截止时间：2026年9月18日16:00

2、投标文件递交地点：常州大学西太湖校区立功楼113

3、联系人及电话：郭老师，13861182756。

十一、由该采购申请部门组成询价评审小组，对投标报价单位报价进行评审后，确定中标单位。

常州大学王诤微电子学院

2026年9月15日

附件.docx