常州大学RIE设备租赁单一来源公示

一、采购单位：常州大学

二、采购项目：RIE设备租赁

三、采购预算：9.6万元（玖万陆仟元）

四：租赁项目清单

五、采购项目概况：

1、光伏科学与工程协同创新中心开展高效晶硅电池的研究，需要进行具有微纳结构表面对光吸收影响的研究，并开发相应的制备工艺，按照研究进展，需要验证所设计的绒面结构，并能制备出相应的样品，同时验证量产能力。

2、RIE设备租赁的必要性

干法刻蚀具有刻蚀纳米绒面均匀性好，容易控制等优点，但是，所使用的气体如SiF4，氯气等非常危险，本单位无法使用，因此需要租用大型干法黑硅设备，并进行工艺验证及量产能力验证。

         3、RIE设备租赁单一来源的理由

常州比太科技有限公司拥有全国最先进的研发型干法刻蚀大型设备，能够实现in-line工艺调整，满足我们对微纳米结构的工艺开发要求，且有设备空闲机时供给我方使用，也满足量产验证能力。

六、经专家组论证，建议常州大学RIE设备租赁项目采用单一来源方式进行。

专家姓名、工作单位：沈鸿烈，南京航空航天大学材料科学与工程学院

                               宋伟杰，中国科学院宁波材料技术与工程研究所

                               许瑞林，江苏省光伏产业协会

七、拟定供应商名称：常州比太科技有限公司

 供应商地址：江苏省武进高新技术产业开发区凤翔路7号

八、联系方式：

        1、采购联系人：王老师

       联系电话：15995014556

       联系地址：江苏省常州市武进区滆湖中路21号

         2、采购机构：采购与招投标办公室

       联系人：王老师

       联系电话：0519-86330040

       联系地址：江苏省常州市武进区滆湖中路21号文正楼216

现将以上情况公示，如有异议，请于2020年06月28日16:00前（公示期限内）携加盖公章的书面材料与采购与招投标办公室联系，逾期将不再受理。

采购与招投标办公室

2020年06月19日